Axcelis Technologies推出全新Integra RS干式光阻去除清洗系统，让Axcelis成熟先进制程能力拥有更高的生产力及弹性，为目前市场上的先进存储器与逻辑原件提供了最高的制造能力。

　　Integra RS系统独特的多反应腔设计包括了成对的反应室制程模组，可以达到最高产出。由于每一对反应室皆可以独立运作，因此使用者在单一模组执行维修或保养时，其他模组仍可持续运作而不影响产能。在各种先进清洗制程的应用,这项弹性的功能让此一系统成为大量生产环境中的最佳选择。同时，此一平台也具备了解决未来技术节点所要求的挑战，像是采用先进光刻与high-k金属栅(High-K/ Metal Gate)等技术。

　　Axcelis营销资深副总裁Bill Bintz表示：“先进内存与逻辑组件制造商将会感受到Integra RS系统领先业界的生产力与优异的多功能性。此清洗设备可为我们的客户节省宝贵的厂房空间并减少总持有成本。”

　　此全新系统已有现货供应，Axcelis 已在今年第三季运交两套Integra RS系统；第一套将运送至欧洲先进的研究单位以支持32/22nm的合作研究计划，而第二套系统则将运交给本公司现有的内存制造客户。