据日经BP社报道,日本电子开发出外形尺寸492mm×458mm×434mm的小型台式扫描电子显微镜(SEM)“JCM-5000‘NeoScope’”,并将于2008年9月开始销售。该电子显微镜曾在2008年1月东京有明国际会展中心举行的“第25届ELECTROTEST JAPAN”展会上展出过。该设备由显微镜、个人电脑及回转泵组成。
电子显微镜为10~2万倍。观察模式有高真空和低真空模式2种,加速电压可进行15kV、10kV、5kV三级切换。
开始观察时,排气等所需要的启动时间为3分钟。试样载物台可承载最大直径70mm×高50mm的试样,载物台的可动范围为X方向、Y方向各35mm。除焦点、对比度、亮度调节外,还可进行尺寸测量等操作。
电子显微镜机体定价为530万日元。上市第一年度的销售目标为300台。