Micronic Laser Systems AB日前宣布收到一家亚洲制造商关于Sigma7500系统的订单,预计今年发货。
Micronic公司CFO Carl-Johan Blomberg表示,半导体业界正在努力降低芯片生产成本,Sigma系统经验证能够有效降低光刻板成本。我们非常高兴该客户选择了我们的Sigma设备,并期待继续保持合作。
Sigma系列设备应用范围可扩大到包括在90、65和45纳米工艺技术的二元光掩膜及相位移光掩膜(PSM)等。