SEMI日前公布了FPD、MEMS以及半导体制造领域的四项新标准。新标准由来自设备与材料供应商、器件制造商以及其他加入SEMI国际标准计划的公司中的技术专家拟定而成，这些标准除可购买CD-ROM光盘外，还可以在SEMI网站www.semi.org下载。

　　SEMI每年公布三次SEMI Standard，在过去的35年里发布的标准数已超过770项。

　　SEMI国际标准部门主管James Amano表示，本次公布的4项标准涉及FPD、MEMS及半导体制造产业，为制造过程中所遇挑战提供了关键的解决方案。

　　4项新标准包括：

　　SEMI D53-0708

　　Specification for Liquid Crystal Display (LCD) Pellicles（LCD薄膜标准）

　　SEMI D52-0708

　　Specification for Reference Position of Substrate ID（衬底ID原始位置标准）

　　SEMI MS7-0708

　　Specification for Microfluidic Interfaces to Electronic Device Packages（电子器件封装的微流体介面标准）

　　SEMI T19-0708

　　Specification for Device Marking（器件标识标准）