可擦写一亿次以上 日研发新型NAND闪存单元
据报道,日本产业技术综合研究所(产综研)与东京大学,联合研制出了采用强电介质栅极电场效应晶体管(Ferroelectric gate field-effect transistor:FeFET)的NAND闪存存储单元。可擦写1亿次以上,写入电压为6V以下。而此前的NAND闪存存储单元只能擦写1万次,且写入电压为20V。以往的NAND闪存只能微细化到30nm左右,而此次的存储单元技术还可以支持将来的20nm和10nm工艺技术。
研究人员发现对FeFET存储单元加载10μs、6V的高速低压脉冲时,也完全可以辨别对应两种存储状态的阈值电压。根据数据写入后、删除后及干扰写入后的数据保存特性,表明该FeFET有望实现10年的数据保存期。加载1亿次10μs、6V的写入及删除电压脉冲以后,阈值电压未出现大幅变化,从而证明其具有1亿次以上的耐擦写能力。由于该Fe-NAND闪存中不存在浮遊栅,因此邻接存储单元间不会产生容量耦合噪音。综合以上试验结果,得出30nm工艺以后的20nm及10nm工艺的高集成非易失性存储器能够实现的结论。
今后将进一步开发FeFET微细化和集成化技术。另外,还将着手从事Fe-NAND闪存阵列的电路设计和制作,用以验证FeFET的工作状态。
业界人士认为,这项技术在闪存的发展历程中将产生巨大的影响,尤其是对于固态硬盘(SSD)的应用前景投注了新的希望。