Mattson Technology日前宣布收到新加坡一新客户关于Suprema(TM)光刻胶剥离系统订单,该客户在新加坡运营有300mm晶圆厂。
Mattson称,Suprema在竞争中立于不败之地,主要是该系统先进的性能表现以及显著的拥有成本获得了客户的青睐。
目前全球前10大半导体厂商中的8家都拥有Suprema系统,用作生产线的量产及45nm以下工艺的研发。