日前,东京电子(TEL)宣布,与夏普公司达成协议旨在开发薄膜硅太阳能电池生产用等离子CVD设备成立一家合资公司。合资公司的名称为“东京电子PV”,东京电子出资51%,夏普出资49%。设备的开发将在新公司进行,设备的生产及销售则由东京电子管理。首台设备预计于2009年出厂。
薄膜硅太阳能电池是太阳能电池的一种,是在玻璃基板上形成一层薄膜硅层的太阳能电池。这次融合了东京电子使用在半导体及FPD生产设备中培养出来的真空等离子量产设备技术与夏普在薄膜硅太阳能电池制造技术,目标是要开发出生产性极高的薄膜硅太阳能电池用等离子CVD设备。
此外本次协议仅限于薄膜硅太阳能电池生产用等离子CVD设备,并不包括FPD生产设备其他事业的合作关系。