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  • Entegris收购IMI部分股权 收纳多晶硅制造设备业务
    http://www.ic72.com 发布时间:2008/3/10 10:50:00

      芯片设备厂商Entegris Inc.日前签署协议,以800万美元收购多晶硅子系统供应商Integrated Materials Inc.(IMI)14%的股份。

      此举将扩展Entegris的产品线。IMI的多晶硅子系统可用于改善半导体扩散工艺的成品率。

      IMI的SiFusion熔炉设备较同类产品性能具有明显改善,适用于制造200mm和300mm晶圆。该产品被Tokyo Electron、Kokusai、Aviza和ASM选用。


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