湖北省单体投资规模最大的高科技制造项目——中芯国际武汉芯片厂的核心生产设备光刻机,乘波音747国际货运包机抵汉。
光刻机是集成电路生产超微细加工的核心工艺设备。这台由荷兰阿斯麦公司(ASML)生产的光刻机总价值数亿元,是武汉芯片厂12英寸芯片项目一期工程首批生产设备中货值最昂贵、最关键的设备。为尽快提高产能,武汉芯片厂拟对设备安装采取“来一台、装一台、试一台”的快速联调操作方案,确保今年顺利投入试运行。