以色列半导体测量设备供应商NovaMeasuringInstruments公司日前宣布，其NovaScan独立式（stand-alone）测量设备再次获得中国最大晶圆厂商的订单。Nova与客户之间的协议包括独立测量、集成测量（integratedmetrology）及NovaMARS应用方案，交易总额数百万美元，此次订单为其中一部分。

　　首套NovaScan光学CD及形状剖析测量系统在2007年安装完成，该客户称，NovaScan较同类产品具备更优异的性能更高的吞吐能力；另外Nova提供了良好的技术支持。客户表示在两家工厂中将采取独立与集成相结合的测量解决方案。

　　Nova销售部副总裁DovFarkash表示，我们非常荣幸向该客户的第二座工厂提供测量设备，根据客户反应，测量系统的优异表现及吞吐能力具有极佳的成本效益。我们相信将为客户提供完善的技术服务来支持其产能扩展计划。

　　NovaMeasuringInstruments是全球性半导体量测设备的先进制造厂，目前世界最大的25个IC制造厂中的21个皆采用Nova量测仪器|仪表及解决方案。NOVA公司藉由薄膜与光学CD，及形状剖析度量方面的专业技术与专利，针对300mm与200mm晶圆IC制造需求，技术层次由90nm演进到45nm与32nm的先进技术，提供量测与制程完善控制。