全球领先的薄膜测量和宏缺陷检测设备供应商Rudolph Technologies和全球著名的芯片制造联盟SEMATECH日前宣布Rudolph成为加入SEMATECH度量项目的首个半导体设备供应商,该项目由美国Albany的CNSE(College of Nanoscale Science and Engineering)牵头。
根据协议,Rudolph和SEMATECH将共同建立一个国际工艺表征(International Process Characterization,IPC)项目,旨在研究工艺的开发、分析和表征技术,以解决纳米电子研究中的挑战。