晶圆缺陷检测设备商Rudolph Technologies Inc.近日选择性收购了RVSI Inspection的资产以及所有知识产权。

　　拥有RVSI的WS-3800 3-D晶圆突点检测系统之后，Rudolph的产品线将大大增强，并可进军快速增长的先进封装设备市场。

　　此次交易的条款未予公布。