据FabTech网站报道，英国南安普敦大学（University of Southampton）为装备其新的研发中心，日前向牛津仪器|仪表公司订购了9套等离子刻蚀及沉积设备，总价值500万美元。

　　这9套设备包括：两套Plasmalab System100 ICP刻蚀设备、两套Plasmalab80Plus反应离子刻蚀设备、两套PlasmalabSystem100 PECVD设备、一套FlexAL原子层沉积设备、一套Nanofab纳米线及纳米管生长设备以及一套大腔体Ionfab离子束系统。