据日经BP社报道，著名半导体制造设备厂商美国Novellus Systems将强化面向150～200mm生产线的二手设备业务。此次认证了多家专门为二手设备提供支援的第三方企业。今后，计划以每年8～10％的速度提高二手设备业务的销售额。

　　“日本厂商是最大客户”

　　Novellus表示，在存储器厂商及半导体代工生产线向300mm发展的同时，“制造独立半导体和模拟部件的150～200mm生产线用设备的需求也大幅增长”该公司副总裁兼总经理David Celli说道。另外，08年以后存储器用产品方面将出售丧失成本竞争力的150～200mm生产线，该公司预计上述生产线用二手设备的需求将不断增长。尤其是日本，将成为该公司二手设备业务的核心市场。据该公司表示，在日本有85个基地拥有150～200mm生产线，该公司07年二手设备业务销售额的40％来自日本市场。

　　此次Novellus认证的第三方企业除日本的Kotec、Arrows外，还包括台湾，韩国、欧洲及北美的企业。该公司将得到这些第三方企业的支援，从事二手设备的维修，供应虽然由二手部件构成却支持新工艺的再生设备。

　　另外，支持300mm生产线的新设备方面，“面向存储器厂商的产品销售额不断增长。”Evecutive副主席Thomas Caulfield表示。日本市场方面，07年向NAND型闪存厂商和NOR型闪存厂商供应了支持铜布线工艺的设备。“预计DRAM厂商的采用也会增加。”Thomas Caulfield预测道。