ASM International N.V.和Hitachi Kokusai Electric Inc. 签订了一项在原子层沉积工艺上的授权协议。根据协议文件，荷兰的ASMI公司将授权日本的Hitachi Kokusai公司使用其原子层沉积(ALD)专利，协议条件未透露。

　　ASMI是ALD技术上的先锋，据说是Intel Corp.公司的主要ALD五金|工具供应商。芯片巨人Intel使用ALD作为沉积high-k 材料的工具，在45纳米结点的叠层栅应用。

　　Hitachi Kokusai也在推动ALD技术的发展。“我们推进批ALD技术已有一段时间”Hitachi Kokusai总经理 Shoichiro Izumi表示。“我们能相信这项协议可以使ALD技术得到进步，并且我们将为客户提供更多的优势。”

　　Aixtron, Applied, Aviza, TEL和其他一些公司也出售ALD工具。Tokyo Electron Ltd. (TEL)据报道已取得IBM Corp.DE "fab 俱乐部"或者是技术联盟的高介电薄膜fab-tool业务。