PI（Physik Instrumente）公司日前发布了一份关于Hexapod六足机器人/六轴并联动力学定位系统的最新产品资料。PI公司主要从事精密传感器及运动控制设备的设计和制造，产品面向光学/光子学、纳米/生物、半导体和生命科学应用。

　　Hexapod系统（也被称为Stewart平台）配备了特殊的运动控制器，与传统的级联式系统相比具有鲜明的特点。

　　具体来说，较之级联式动力学系统，并联动力学（PKM）系统具有以下优势：面向简单旋转定位任务的可编程支点；惯量小，高刚度；更好的动态特性；更小的封装尺寸；位置误差不累积，偏心误差小；无移动接线，可重复性和可靠性更好。

　　这份资料详细介绍了各种标准型和定制型的Hexapod系统，其负载能力从2千克到1000千克不等，分辨率均达到亚微米级。

　　PI公司自上世纪90年代初开始从事Hexapod机器人及定位系统的设计和制造，至今，Hexapod已发展成为一个涵盖多种形态和尺寸的大家族，其中有的引入了伺服电机驱动系统，用于移动某些直径可达1米的大型光学装置；有的则采用压电式设计，能提供纳米级的控制精度，适用于半导体晶圆及掩膜。此外，Hexapod还有标准型和定制型，并且提供对应非磁性环境及真空环境的版本。

　　Hexapod并联运动控制系统的典型应用领域包括：光学、光子学、通讯、天文、航天、生物、半导体测试及装配、显微镜等。