半导体方案供应商安森美半导体(ON
Semiconductor,ONSemi)宣布,将其制造工艺技术扩大到HighQ硅-铜集成无源器件(IPD)的制造服务领域。与昂贵、超高性能的基于砷化镓-金工艺无源器件相比,这创新的8英寸晶圆技术比原来较低精密程度的硅-铜工艺成本更低,性能更高。
工艺
HighQ制造工艺制造出铜镀层厚实的电感器、MIM电容器(0.62fF/um2)以及TiN电阻器(9ohms/square),工艺成熟,将满足全部可靠性评估标准,显示了该方案的稳健。
加工温度-65℃/150℃
金属、Vias和MIM电容器上固有的稳定性
高温反位相(Op)寿命(150℃, 504小时)
额定ESD:HBM,MM
IPD产品
HighQ制造工艺可用于不平衡变换器、滤波器和滤波器/耦合器等便携和无线应用产品。安森美半导体目前正在开发 HighQ高带宽滤波器系列,用于在高速串行接口上降低电磁干扰(EMI)。样品将于今年夏季推出,计划在第四季度生产。
IPD设计工具
安森美半导体为制造服务的客户提供用于IPD技术的设计组件,能够有效仿真的第一硅方案结果,并包含标准的 Cadence设计工具:
PCELL生产器、Views等;
Cadence Assura DRC、LVS;
带有安捷伦ADS模型的Cadence RFDE环境;
从布局到HFSS仿真环境全自动转化
安森美半导体为潜在客户提供这套设计组件,帮助他们进行快速的建立原型。