半导体清洗设备供应商Akrion日前获得了一家总部位于美国得克萨斯州的芯片制造商的价值超过500万美元的订单。该客户订购了3台批量浸洗（batch-immersion）系统。产品预计将于今年第二季度出货。

    Akrion公司的GAMA系列湿法清洗设备主要用于半导体材料和子装配线的清洗和其他表面处理工艺，对于提高产品质量和生产成品率至关重要。上述来自德州的晶圆厂的生产线上目前已安装有20台以上的GAMA湿法清洗设备。 
    据悉，该客户本次订购的三台GAMA系统中的两台将用于生产线前段（FEOL）光刻胶剥离工艺，剩下的一台将用于生产线后段（BEOL）的溶剂清洗。Akrion表示，GAMA平台采用了一系列公司专有的先进技术，包括ICE-1(TM)化学浓度控制技术、兆声清洗技术、去离子水回收以及低IPA消耗表面张力梯度干燥技术等。