日立化成开发出适用于SiP高密度布线底板的铜表面处理技术
日立化成开发出了适用于SiP(系统级封装)高密度布线底板的铜表面处理技术(发布资料)。能够均匀地形成表面粗糙度(Rz)为过去的1/10、即20~40nm级的凹凸。在确保布线精度的情况下,能够将与多层底板所需的绝缘层之间的粘接力维持在同等水平。
过去的表面处理技术由于铜熔解量很大,降低了精度,因此无法用于微细布线。另外,此次的新技术能够用于布线间隔为10μm级的高密度布线。
目前该技术仍处于试制研究阶段。今年准备根据客户需求推进投产进程。此项研究是作为日本新能源·产业技术综合开发机构(NEDO)基础技术研究促进计划(民间基础技术研究扶持制度)的委托研究项目实施的。