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  • 微电子技术获40年来重大突破--半导体 晶体管 处理器
    http://www.ic72.com 发布时间:2007/2/8 9:00:00
        美国英特尔公司和IBM公司近日分别宣布,他们使用铪金属作为电介质,开发出45纳米线宽的晶体管技术工艺,使芯片的集成度比目前65纳米线宽的技术工艺提高了1倍,运行速度提高了20%,器件功耗降低30%。这也是40年来晶体管技术获得的重大突破。
        
       在半导体工业迅速发展的40年期间,一直以单晶硅为电介质的晶体管技术,从90纳米线宽发展到65纳米,芯片上集成的晶体管数目随之增加了1倍,器件功耗降低20%,运行速度提高了50%,生产成本得以大幅下降。尽管目前电子元件技术已能达到12纳米线宽,相当于5个原子的厚度,但由于量子力学的隧道效应,出现了非常严重的晶体管能量流失问题,影响了处理器性能的发挥和功耗。英特尔公司之所以停止开发4千兆赫兹处理器,就是遇到了这一技术难题。
        
       高介电率材料铪能隙小,对载流子的势垒较低,但使用铪作为电介质需要解决两个问题。最主要的问题是采用高介质率绝缘层后会降低载流子的迁移率。另外,传统的集成电路采用多晶硅作为电极材料,这与高介电率的铪材料绝缘层在边界会产生电位差,从而发生控制电压(阈值电压)偏移的问题。
        
        英特尔宣布已经解决了上述问题。据悉,他们在晶体管技术新工艺中使用了其他金属电极代替了硅电极,但因技术保密,英特尔没有宣布具体的金属成分,只表示在两种不同的晶体管NMOS和PMOS中使用了不同的金属材料。英特尔还透露,除使用铪作为电介质材料外,在新技术工艺中还使用了低介电率的氮化硅,这也降低了器件之间的能耗,同时提高芯片的运行速度。
        
        目前,无论CPU还是GPU等处理器芯片都是由数以亿计的晶体管组成的,晶体管性能的提高可以直接导致处理器速度的革命。因此,有关专家指出,以铪材料为基础的新型晶体管技术,将可能引起晶体管技术的第二次革命。
        
        据悉,英特尔有望在2007年后半年推出45纳米的铪晶体管,生产Penryn系列芯片;而IBM希望在2008年与AMD、东芝和索尼等公司合作,推出以铪材料为晶体管的芯片。
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