根据SEMI最新发布的市场研究报告，2005年全球MEMS相关产品(包括汽车安全气囊系统，显示系统等)市场总值为480亿美元，至2010年将达到950亿美元。
    随着在消费电子领域应用的不断扩大，MEMS器件市场将以13%的复合年平均增长率，从2005年的53亿美元增长到2010年的99 亿美元。MEMS器件被定义为已完成第一级封装的芯片级产品，主要包括压力传感器、加速度计、陀螺仪、麦克风、数字微镜阵列、微流体器件等等。此外， MEMS器件相关的制造材料与设备的市场总值2005年达到了10亿美元，至2010年间，MEMS材料与设备预期将分别以15%和6%的平均增长率增长。
    材料市场的增长主要来自于衬底材料、封装涂层及化学机械抛光(CMP)的带动，其中衬底材料占总材料市场的70%。与此同时，MEMS制造将带动二手半导体设备的需求、移植型200mm生产线及选择新设备，包括现在MEMS所采用的蚀刻和键合等。