根据SEMI最新发布的市场研究报告《全球MEMS/微系统市场与机会》，2005年全球MEMS相关产品(包括汽车安全气囊系统，显示系统等)市场总值为480亿美元，至2010年将达到950亿美元。
随着在消费电子领域应用的不断扩大，MEMS器件市场将以13%的复合年平均增长率(CAGR)，从2005年的53亿美元增长到2010年的99亿美元。MEMS器件被定义为已完成第一级封装的芯片级产品，主要包括压力传感器、加速度计、陀螺仪、麦克风、数字微镜阵列、微流体器件等等。此外，MEMS器件相关的制造材料与设备的市场总值2005年达到了10亿美元，至2010年间，MEMS材料与设备预期将分别以15%和6%的CAGR增长。
材料市场的增长主要来自于衬底材料、封装涂层及化学机械抛光(CMP)的带动，其中衬底材料占总材料市场的70%。与此同时，MEMS制造将带动二手半导体设备的需求、移植型200mm生产线及选择新设备，包括现在MEMS所采用的蚀刻和键合等。
MEMS器件、材料与设备的全球市场预期
| 市场 | 2005 |
2010 |
CAGR |
| MEMS材料 |
3.85亿美元 |
7.71亿美元 |
15% |
| MEMS设备 |
6.31亿美元 |
8.61亿美元 |
6% |
| MEMS器件 |
53亿美元 |
99亿美元 |
13% |
| MEMS系统 |
480亿美元 |
950亿美元 |
15% |
来源：Yole Developpement
SEMI新兴技术高级主管Lubab Sheet表示，MEMS行业将被一系列的新型消费产品应用所驱动，例如MEMS麦克风应用于手提电话、加速度计应用于消费产品领域、光学MEMS应用于电视、MEMS谐振器替代石英晶阵用于授时以及未来的微型燃料电池等。
报告中同时阐述了产品的应用趋势及材料与制造的关联，以使得SEMI会员可以更准确地掌握新的机遇，并调整自身以适应市场发展。
