外形尺寸方面,口径4mm的型号为17×37×55mm。重量约为70g。虽然体型小巧,但借助白金芯片以及新机构的整流方式,能够实现高精度检测。线性为±5%F.S.。可用于无论正压或负压的吹洗气体管理以及吸附管理。
适用流体方面,除了符合JIS B 8392-1.1.2~5.6.2标准的清洁空气之外,还有符合JIS B 8392-1.1.2~1.6.2标准的压缩空气、氮气。此次产品种类共有从额定流量范围为50m~500mL/分的“FM-152-4”直至10~100L/分的“FM-115-AR4”等7种型号。