从事MEMS技术研发的美国风险企业SiTime公司，在与SEMICON Japan 2005展会同期举行的“第9届SEMI微系统/MEMS专题研讨会”上，宣布正在开发硅振荡器。 

    所谓硅振荡器，就是指利用MEMS技术在硅芯片中形成共振器，利用共振器构成频率振荡器。据SiTime公司介绍，硅振荡器不仅能够得到高于现有石英振荡器的精度和可靠性，还有助于削减封装面积，降低元件成本。

    对于硅振荡器的开发，美国风险企业Discera等公司此前也已宣布正在进行研制。作为自身的优势，SiTime公司指出它是利用标准CMOS工艺技术，形成硅振荡器的。