据市场调研公司WTC公布的数据，射频微机电系统（RF MEMS)在2004年的市场规模约为1.25亿美元，而预计到2009年这一市场将迅速增长到11亿美元。RF MEMS市场每年55%的复合增长率使其销售额在2005年将达到2亿美元，2006年将达到3亿美元，2007年将达到4.5亿美元，2008年将达到 7.25亿美元。

　　在目前，安捷伦（Agilent）公司和英飞凌（Infineon）公司的体声波双工器和滤波器占据了市场很大的份额。移动通讯技术的发展使这一市场 获得了强大的动力，但消费类产品和IT产品将在2007年以后变得举足轾重。

　　WTC公司的高级分析师Jeremie Bouchaud说，“RF MEMS必将成为MEMS产品的一个重要种类。”