TCZ发布平面显示器制造用的低温多晶硅结晶设备
TCZ公司日前面向制造平面显示器(FPD)发布一种创新型生产工具——TCZ-900X。该公司是美国Cymer公司与德国卡尔·蔡司SMT公司组成的一家合资企业。利用Cymer公司获得专利的激光技术和卡尔·蔡司SMT公司在光学与精密工程方面著名的专门技术，这种先进的TCZ-900X制造工具用于帮助低温多晶硅(LTPS)显示器厂商提高量产产出效率和降低雷射结晶成本。
显示器领导厂商三星电子公司副总经理C.W.金说，“在这个市场中，成本与品质对显示器厂商来说非常重要。改善显示器性能，并同时提高生产良率的技术将最终推动平板显示器(FPD)业向前发展。”
TCZ-900X对于诸如准分子雷射退火(ELA)与连续侧向结晶(SLS)等现有结晶技术提供一种出色的选择的方案，并提供显示器厂商近期与长期效益的结合，例如：凭借加快直接大规模集成驱动电子直接与低温多晶硅结合，以降低面板成本和提高面板的性能；凭借降低驱动电压、及更小薄膜晶体管(TFT)开关来达到高图像分辨率与减少耗电率；分摊设备成本与工艺技术，因为TCZ-900X支持主动矩阵液晶显示器(AMLCD)，系统集成面板(SOP)和下一代有机光发射装置(OLED)显示器。该工具能以细长光束(~5微米)一次曝光的扫过整片面板(宽720mm)，有助于提高量产产出能力并具有良好的晶体均匀性。另外，它还实现了较平坦化的平面布局(没有(SLS)所引起的垂直凸起物)使闸极氧化层更易量产，进一步降低面板生产成本。
TCZ率先实现细光束有方向性结晶工艺设备的商业化，以高的量产产出能力，并提供高载子移动率的低温多晶硅。TDX-900X设备业务将会由分布在韩国、日本、台湾及中国的TCZ客户服务架构来支持。
该工具的核心是具有重复率达6kHz及900W的高精度光束的光学组件的准分子雷射。这种结合可实现高扫描率，从而该系统在很快的时间内扫过Gen4 730×900mm玻璃面板。
TCZ-900X Alpha版工具已完成，而且将可从今年第4季度供客户测试评估。实际机台定于2006年中量产。
