通过收购莱卡,Danaher迅速进入了微型计量仪器|仪表(metrology)、直接写入电子束(direct-write electron-beam)、晶圆检测(wafer inspection)和其它晶圆五金|工具领域。目前,莱卡公司和IMS Nanofabrication GmbH正在共同开发“可编程掩膜”的非掩膜光刻工具。