Tegam公司推出一款四通道微型机电系统(MEMS)引擎驱动放大器——2375,售价约为6,500美元(仅供参考)。该器件是Tegam与Sandia国家实验室共同开发的,用于驱动静电梳型MEMS微型引擎。2375接收低电平输入并将之放大,每个通道的内部放大器均可设旁路。除了驱动MEMS微引擎外,2375引擎驱动放大器还可用于单极或DC偏置AC波形的精确信号放大。
四通道放大器每个通道的额定连续电流均为20mA(输出阻抗0.2Ω),工作电压范围在-7V至150V之间,转换率优于5V/μs。每个通道均可用内部控制设置增益和偏置。2375可驱动200pF容性负载,并同时能保持全功率带宽,其范围在直流至5kHz。该器件还具有限流电路以防短路现象发生。
每个通道有独立的电压监视输出,适合需要低电平表示闭环系统中输出信号的产品。缓存可使输出降压比为100:1,输入阻抗为1MΩ以上。此外,还提供采用BNC连接器的输出,用于连接示波器、ADC卡及其它监视仪。
Tegam还推出使用2375驱动放大器的9070 MEMS引擎驱动系统。9070是一种稳定的信号源,可用于驱动梳形MEMS微引擎,它也可以直接替代Pragmatic Instruments的9014 MEMS引擎驱动系统。9070起价约为15,000美元(仅供参考)。
典型的9070系统包括Sandia国家实验室的Super μDriver软件、两个波形发生器和一个2375放大器。这些通道均可使用2375内置的分离器成对创建,也可单独操作。通过设置波形发生器可输出理想的MEMS驱动信号、正弦信号、方波或任意波形。信号幅度也在波形发生器内设置。
所有四个通道均可用IEEE-488.2/GPIB进行远程编程。每个通道的波形及驱动参数可用Super μDriver软件创建并下载。